산업장비
소결장치
소결/탈지 일괄시스템
(Sintering - DegreasingMachine)
로드-락 챔버(load-lock chamber)는 반도체 공정에서 사용하는 진공장비로, 진공을 유지하면서 시료 운반에 사용되며,
시료의 외부 노출 없이 탈지(Degreasing) 와 소결(Sintering) 공정을 연속적으로 진행할수 있음.
시료의 외부 노출 없이 탈지(Degreasing) 와 소결(Sintering) 공정을 연속적으로 진행할수 있음.
표준사양
| 구분 | 항목 | 사양 |
|---|---|---|
| 탈지(De-binding) | 온도 | 900℃ |
| 진공도 | 5x10-3 torr | |
| 가스유량 | 고객사양 | |
| 챔버용량 | 고객사양 | |
| 히터용량 | 고객사양 | |
| 로드-락(Load-lock) | 온도 | 배출온도 500℃ |
| 진공도 | 5x10-3 torr | |
| 챔버용량 | 고객사양 | |
| 소결(Sintering) | 온도 | 1500℃ |
| 진공도 | 5x10-5 torr | |
| 챔버용량 | 고객사양 | |
| 히터용량 | 고객사양 |
